Silizium-Technologien für leistungsfähige, multi-axiale Sensorcluster auf einem Chip
Conference: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
05/07/2007 - 05/08/2007 at Karlsruhe
Proceedings: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik
Pages: 5Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Link, Thomas (MicroMountains Applications AG, D-78050 Villingen-Schwenningen)
Trächtler, Martin; Nommensen, Peter; Auber, Johannes; Reinecke, Holger (HSG-IMIT, Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft, D-78052 Villingen-Schwenningen)
Abstract:
Zahlreiche Produkte und Applikationen werden zukünftig zwei- oder sogar drei Messachsen zur Erfassung einer Linearbeschleunigung oder Drehgeschwindigkeit benötigen. Dieser Beitrag stellt die Umsetzung eines innovativen drei-axialen Drehratensensors auf einem einzigen Silizium-Chip dar, der auf leistungsfähigen SOISubstraten basiert. Als Ergebnis der Entwicklungen ist hierzu lediglich ein zusätzlicher Maskenschritt notwendig. Neben der eingesetzten SOI-Technologie und dem entwickelten Sensorkonzept werden erstmalig Ergebnisse von Prototypen eines drei-axialen Drehratensensors vorgestellt.