Bulksiliziummikromechanik, Entwicklungstendenzen und Beispiele

Abstract:
Bulksiliziummikromechanik ist eine Technologie, die bereits seit langer Zeit erfolgreich eingesetzt wird. Zu Begin der Siliziummikromechanik dominierte diese Technologie das Feld der Aktoren und Sensoren. Auch wird heute noch ein signifikanter Anteil aller hergestellten Elemente mit Verfahren der Bulktechnologie erstellt. So zum Beispiel sind die meisten Siliziumdrucksensoren und Sensoren und Aktoren, die extreme Genauigkeit benötigen, unter anderem hochgenaue Beschleunigungssensoren und Drehratesensoren für Inertialnavigationssysteme, prädestinierte Anwendungen für Bulksiliziummikromechanik. In jüngster Vergangenheit mit der fortschreitenden Weiterentwicklung von Trockenätztechnologien stoßen Funktionsprinzipien und Entwürfe von Elementen, die bisher nur in Oberflächenschichten von wenigen Mikrometern Dicke zu Einsatz kommen konnten, immer weiter in Bulkdimensionen vor. So sind Elemente, die Trockenätzschritte durch einen gesamten Wafer beinhalten keine Seltenheit mehr. Der Beitrag gibt eine Übersicht über Verfahren und Anwendungsgebiete der Bulkmikromechanik. Dabei werden anhand der Entwicklungen der Vergangenheit und Gegenwart Tendenzen für die zukünftige Weiterentwicklung dieser Technologie dargestellt. Dazu werden aktuelle Beispiele gezeigt und erklärt.