Elektromagnetische Mikroaktoren

Abstract:
Durch den Einzug und Entwicklung neuer Technologien lassen sich immer komplexere MEMS-Applikationen realisieren. Zu Ihnen zählen vermehrt elektro-magnetische Mikroaktoren, welche in den letzten Jahren einen wachsenden Zuspruch sowohl in der Mikrotechnik als auch in kommerziellen Anwendungen erfahren. Deren prinzipieller Aufbau besteht aus elektrischen Leitern und Spulensystemen sowie aus weich- und/oder hartmagnetischen Werkstoffen, deren Herstellung in Additivtechnik mit hohen Schichtdicken und Aspektverhältnissen am Institut für Mikrotechnik entwickelt und optimiert wurde. Dadurch konnten elektrodynamische und elektromagnetomechanische Wirkprinzipien in komplexe Mikroaktoren, Mikromotoren bis hin zu Mikrorobotern umgesetzt und erfolgreich getestet werden. Die Entwicklungen umfassen im Einzelnen lineare Reluktanzaktoren („Horizontalaktoren“), „Lorentzkraftaktoren“ sowie „Tauchspulaktoren“. Eine technologische Besonderheit stellt hierbei die Herstellung und Integration mikrostrukturierter Polymermagnete dar.