Kompaktes ATR Sensormodul für die Flüssigkeitsanalyse
Conference: Sensoren und Messsysteme - 21. ITG/GMA-Fachtagung
05/10/2022 - 05/11/2022 at Nürnberg
Proceedings: ITG-Fb. 303: Sensoren und Messsysteme
Pages: 2Language: germanTyp: PDF
Authors:
Isserstedt-Trinke, Annett; Magi, Andre; Biermann, Steffen (Micro-Hybrid Electronic GmbH, Hermsdorf, Deutschland)
Lambrecht, Armin; Bolwien, Carsten; Fuhr, Hendrik; Sulz, Gerd (Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM, Freiburg im Breisgau, Deutschland)
Woellenstein, Juergen (Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM, Freiburg im Breisgau & Institut für Mikrosystemtechnik - IMTEK, Professur für Gassensoren, Universität Freiburg, Deutschland)
Abstract:
Für die Analyse stark absorbierender Flüssigkeiten und Feststoffe wird im Labor häufig die Infrarotspektroskopie mittels abgeschwächter Totalreflexion (ATR) verwendet. Für Prozessanwendungen sind die dabei verwendeten FTIR-Systeme meist zu aufwändig und nicht ausreichend robust. Für viele Anwendungen sind kostengünstige und kompakte Prozesssensoren gefordert, die eine kontinuierliche Bestimmung der Zusammensetzung von Flüssigkeiten zur Prozessverfolgung und -Regelung ermöglichen. Wir stellen hier das Design, die Herstellung und den Aufbau eines kompakten, Silizium-basierten ATR-Moduls mit einem 4-Kanal-MEMS-Detektor vor. Messungen an Flüssigkeitsmischungen demonstrieren die Eignung für Anwendungen in der chemischen Industrie.