Nanopositionier- und Nanomessmaschinen – Herausforderungen bei der Visualisierung großer Messvolumina mit Übersichtsbildern im Gigapixel-Bereich

Abstract:
Die Orientierung im Messvolumen von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen mit großen Messbereichen (z.B. NPMM200 mit 200x200x25 mm Messbereich) ist speziell bei unbekannten Proben anspruchsvoll. Ein grobes Scannen mit AFM- oder Laserfokus-Sensoren (z.B. mit einem Pixelabstand von ca. 500 nm) ist extrem zeitaufwendig. Verwendet man zum Erstellen eines 3D-Übersichtsbildes Mikroskope und Kameras, kann in überschaubarer Zeit ein 3D-Abbild des Messobjektes erstellt werden. Durch eine Konvertierung in spezielle Datenformate ist eine nahezu verzögerungsfreie Navigation innerhalb der Grenzen des Messobjektes möglich. Die Herausforderungen und Probleme bei der Entwicklung derartiger Software bzgl. Rechnerarchitekturen, Datenspeicherung und Parallelisierung werden in dieser Abhandlung näher untersucht.