Fertigungstechnologie zur Herstellung von Silizium basierten MEMS-Schaltern

Abstract:
Für den Einsatz von MEMS-Schaltern in Leistungsanwendungen ist es erforderlich eine matrixartige Verschaltung vieler einzelner MEMS-Schalteinheiten zu realisieren. Um eine gleichbleibende Performanz der einzelnen Schalter, die das Array darstellen, zu gewährleisten, werden höchste Anforderungen an den Herstellungsprozess gestellt. Wir präsentieren das Design und die Herstellung eines MEMS-Schalters auf Basis einer Silicon-on-Insulator (SOI)-Fertigungstechnologie. Die Messergebnisse zeigen eine hohe Übereinstimmung mit den Simulationen, was die Vorhersagbarkeit und damit die Homogenität von SOI-basierten MEMS-Schalter bestätigt.