Erweiterung des Anwendungsbereiches von Siliziumdehnungssensoren durch Montageträger

Abstract:
Siliziumdehnungsmesssensoren oder Siliziumdehnmessstreifen (Si-DMS) substituieren in einige Anwendungen, insbesondere im Bereich Druckmesstechnik, die piezoresistiven Dünnschicht- und Dickschichtwiderstände. Der höhere Koppelfaktor und die deutlich höhere Langzeitstabilität machen diese Sensoren zunehmend interessant für weitere Anwendungen. Besonders hohe Anforderungen an die Montage bereitet die geometrische Größe der Prüfkörper. Die Prozesse, wie sie für kleine Prüfkörper üblich sind, z.B. Glasfritt- und Drahtbonden, stoßen schnell an ihre Grenzen. Thermische Prozesse sind aufgrund der Masse des Prüfkörpers unwirtschaftlich oder nicht gewünscht. Die Drahtbondprozesse an großen Prüfkörpern sind sehr aufwendig und sollen vermieden werden. Die Prüfkörper sind lange Rohre, Druckbehälter, Maschinenschrauben oder Federkörper für Kraftsensoren. Durch die Verwendung von Montageträgern kann der Anwendungsbereich erweitert werden.