Energieeffiziente, miniaturisierte magnetische Sensoren für Industrie 4.0 auf Basis des Tunnel-Magnetoresistive-Effekts
Conference: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10/28/2019 - 10/30/2019 at Berlin, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik 2019
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Slatter, Rolf (Sensitec GmbH, Lahnau, Deutschland)
Abstract:
Längen- und Winkelmesssysteme auf magnetischer Basis erleben in den letzten Jahren ein kontinuierliches Wachstum. Sensoren auf Basis des magnetoressitiven (MR)-Effekts finden zunehmend Anwendung in der Antriebstechnik sowohl im industriellen als auch im automotiven Bereich. MR-Sensoren werden nicht nur bei der Regelung von mechatronischen, sondern auch bei pneumatischen und hydraulischen Antrieben eingesetzt. Sie ermöglichen inkrementelle als auch absolute Messungen in einer Vielzahl von unterschiedlichen Konfigurationen. Längen- und Winkelsensoren auf Basis des tunnelmagnetoresistiven (TMR)-Effekts sind besonders energieeffizient und ermöglichen einen hohen Grad an Miniaturisierung. Damit bilden TMR-Sensoren eine wichtige Grundlage für neue Anwendungen im Bereich von Industrie 4.0 und dem Internet der Dinge.