AMR Sensoren auf flexiblem Substrat zur Messung von Verformungen eines hartmagnetischen Partikel-Elastomerverbunds
Conference: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10/28/2019 - 10/30/2019 at Berlin, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik 2019
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Prediger, Maren S.; Wittek, Christian-Gabriel R.; Owiss, Ghadeer; Wurz, Marc Christoper (Institut für Mikroproduktionstechnik, Garbsen, Deutschland)
Abstract:
Die Messtechnik zur Erfassung von Drücken bedient sich einiger Messprinzipien, darunter kapazitive, piezoelektrische, und optische, jedoch noch nicht des magnetoresistiven. Als Weiterentwicklung eines bereits untersuchten Demonstratorsystems wurden magnetoresistive Sensoren auf flexiblen Substraten als Array hergestellt, charakterisiert und Optimierungsparameter festgelegt. Das Sensorkonzept beinhaltet einen Verbund aus hartmagnetischen Partikeln und Elastomer, dessen magnetisches Verhalten in Abhängigkeit von dem Partikelfüllgrad und dem Verhältnis aus Basiskomponente zu Vernetzungskomponente untersucht wurde. Mit den Erkenntnissen lässt sich das Konzept auf anwendungsbasierte Eigenschaften auslegen und weiterentwickeln.