Hochauflösende miniaturisierte Längenmesssysteme auf magnetischer Basis für Klein- und Mikroantriebe

Abstract:
Es gibt einen wachsenden Bedarf an miniaturisierten Längenmesssystemen. Systeme auf magnetischer Basis sind im Vergleich zu optischen Messsystemen äußerst robust und günstig, erreichen aber nicht deren Genauigkeit. Im Verbundprojekt Aquila werden neue Sensoren und lithographisch hergestellte Maßstäbe entwickelt, um den Genauigkeitsabstand zu den optischen Gebern zu eliminieren, bei deutlich kleineren Abmessungen. Ein Demonstrator mit einer Messlänge von 25 mm erreicht eine absolute Positioniergenauigkeit von kleiner 700 nm und eine bidirektionale Wiederholgenauigkeit kleiner gleich 110 nm. Er arbeitet absolut und benötigt somit beim Einschalten keine Referenzfahrt mehr. Die Leistungseigenschaften dieser neuen Lösung werden in ersten Pilotanwendungen erprobt.