Magnetkreisuntersuchungen in planaren Doppelkern Fluxgate Sensoren

Abstract:
Wie in allen Bereichen geht auch der Trend in der Sensorentwicklung zu immer kompakteren und höher integrierten Lösungen. Neben der Größe ist jedoch auch die Leistungsaufnahme von großer Bedeutung, die vor allem bei herkömmlichen planaren Fluxgate Sensoren ein großes Problem darstellt. Die vorliegende Arbeit beschreibt einen Präzisionsaufbau einer Doppelkernstruktur mit unterschiedlichen hochpermeablen Materialien. Durch eine geschickte Auswahl ist es möglich die Sensitivität, bei gleichzeitiger Reduktion der Sensordimensionen und des benötigten Erregerstroms, eklatant zu erhöhen. Gleichzeitig zeigt der Präzisionsaufbau im Gegensatz zu einem händisch gefertigten, dass eine Verwendung gleicher Materialien zu keinerlei Ausgangssignal führt, wie dies auch aus theoretischen Betrachtungen hervorgeht.