Design von elektrostatischen Wanderkeilaktoren für THz-Hohlleiter-Schalter
Conference: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
10/26/2015 - 10/28/2015 at Karlsruhe, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik 2015
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Lämmle, D.; Schlaak, H. F. (Technische Universität Darmstadt, Institut für Elektromechanische Konstruktionen, Merckstr. 25, 64283 Darmstadt, Deutschland)
Abstract:
In diesem Beitrag wird ein Konzept für einen MEMS Shunt Switch basierend auf elektrostatischen Wanderkeilaktoren zur Verwendung in Hohlleitern bei 330 – 500 GHz vorgestellt. Durch Simulationsrechnungen wird bei diesen Schaltern der Einfluss des Kontaktwiderstands auf die Güte verdeutlicht und so die Notwendigkeit hoher Kontaktkräfte aufgezeigt. Ausgehend davon wird über ein vereinfachtes analytisches Modell der Einfluss unterschiedlicher mechanischer Größen auf die Performance der Schalter erläutert und experimentell Kontaktkräfte und Widerstände für die Auslegung bestimmt. Darauf basierend werden erste Wanderkeilaktoren gefertigt. Bei elektrischen Spannungen von 50 bis 100 V können auf einer notwendigen Höhe von 255 µm Kräfte zwischen 3,6 und 47 myN realisiert werden.