Entwurf und Test von Acoustic Emission Sensoren basierend auf dem MEMS-Bandpass-Prinzip
Conference: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
10/26/2015 - 10/28/2015 at Karlsruhe, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik 2015
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Freitag, M.; Auerswald, C.; Wolf, P.; Sorger, A.; Dienel, M.; Shaporin, A.; Mehner, J. (Technische Universität Chemnitz, Deutschland)
Abstract:
In diesem Beitrag wird die Weiterentwicklung des mikroelektromechanischen Acoustic Emission (MEMS AE) Sensors auf Basis des Bandpassprinzips vorgestellt. Durch die Erweiterung auf vier Resonatoren konnte die Übertragungsfunktion des Sensors bezüglich Sensitivität und Bandbreite besser an den Frequenzbereich des hochfrequenten Messsignals angepasst werden. Neben dem Design des vier-Resonator-MEMS, wird der Aufbau eines Gesamtsystems mit Analog-Elektronik vorgestellt und durch einen praktischen Versuch auf einer Faserkunststoffverbund-Platte getestet.