Ein dreiachsiger oszillierender Mikrotaster für die Koordinatenmesstechnik
Conference: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
10/26/2015 - 10/28/2015 at Karlsruhe, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik 2015
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin (IMN MacroNano®, Technische Universität Ilmenau, Deutschland)
Abstract:
Wir präsentieren einen dreiachsigen oszillierenden Mikrotaster, welcher neun elektrostatische Wandler, zwei Styli mit Antastelement und eine Federführung in einem SOI-Substrat vereint. Bestandteile dieses Papers sind die Charakterisierung des Mikrotasters und der Nachweis, dass Sticking durch eine resonante Antastung sicher vermieden wird. Während des Messbetriebs oszilliert der Mikroaster in drei Richtungen mit Frequenzen im unteren Kilohertzbereich und mit Schwingungsamplituden bis 2 µm.