AlN auf flexiblem Substrat für langzeitstabile, energieautonome Sensorsysteme
Conference: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10/14/2013 - 10/16/2013 at Aachen, Deutschland
Proceedings: Mikrosystemtechnik 2013
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Hau, S.; Marschibois, M.; Seidel, H.; Feili, D. (Universität des Saarlandes, Lehrstuhl für Mikromechanik, Mikrofluidik/Mikroaktorik, 66123 Saarbücken, Deutschland)
Abstract:
Die Anzahl autarker Sensorsysteme zur Überwachung mechanischer Strukturen nimmt stetig zu. Um deren Energieverbrauch zu reduzieren kann der piezoelektrische Effekt zur Dehnungsmessung genutzt werden. Der Aufbau eines solchen Sensors auf einem Dünnglassubstrat und dessen Charakterisierung wird im Folgenden beschrieben. Als aktives Sensormaterial wird gesputtertes Aluminiumnitrid (AlN) eingesetzt. Um die Langzeitstabilität des Sensors zu gewährleisten wird Titan als Elektrodenmaterial und eine Passivierung aus Aluminiumoxid (Al2O3) eingesetzt.