Integration und Charakterisierung von Nanostrukturen in Mikrosysteme für sensorische Anwendungen
Conference: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10/14/2013 - 10/16/2013 at Aachen, Deutschland
Proceedings: Mikrosystemtechnik 2013
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Quednau, S.; Dassinger, F.; Schlaak, H. F. (Technische Universität Darmstadt, Institut für Elektromechanische Konstruktionen, Fachgebiet Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme, Deutschland)
Hottes, M.; Stegmann, C.; Ensinger, W. (Technische Universität Darmstadt, Institut für Material- und Geowissenschaften, Fachgebiet Materialanalytik, Deutschland)
Abstract:
Die Integration metallischer Nanostrukturen in Mikrosysteme verspricht gerade im Bereich der Sensorik eine deutliche Verbesserung in punkto Sensitivität und Geschwindigkeit. Mit einem speziell entwickelten Verfahren werden hierfür im Rahmen dieser Arbeit unterschiedlich strukturierte Nanodrahtarrays im Mikrosystem hergestellt. Der Einsatz der Nano-drahtstrukturen in der Gasflusssensorik sowie in der Inertialsensorik wird an Beispielen vorgestellt. Mit Hilfe einer elektrischen und mechanischen Charakterisierung wird die Eignung der Arrays für die Sensoranwendungen untersucht.