Horizontales Wachstum von mehrwandigen Kohlenstoffnanoröhren in Mikrogräben in Mikrosystemtechnik

Abstract:
In diesem Betrag wird ein einfacher, innovativer Herstellungsprozess von horizontal ausgerichteten Kohlenstoffnanoröhren (CNT) in Mikrogräben vorgestellt. Die Herstellung erfolgt mit Standard-Technologien der Mikrosystemtechnik. In einer katalytisch-induzierten thermischen Gasphasenabscheidung wachsen CNTs lediglich dort, wo ein Katalysator zur Verfügung steht. Durch die Strukturierung des Katalysators lässt sich somit ein selektives CNT-Wachstum erreichen. Der Katalysator wird in einem ersten Schritt auf allen Oberflächen der Mikrogräben abgeschieden. In einem gerichteten physikalischen Trockenätzprozess, indem der Ionenbeschuss weitestgehend senkrecht auf das Substrat erfolgt, wird der Katalysator an den horizontalen Oberflächen entfernt. Somit befindet sich lediglich an den Wänden der Mikrogräben Katalysatormaterial, was zu einem horizontalen Wachstum der CNTs senkrecht zu den Seitenwänden der Gräben führt.