Anwendungen Chip-basierter photonischer Systeme aus amorphem Silizium in der Kommunikationstechnik und der Bio-Sensorik

Abstract:
In diesem Beitrag werden Anwendungsmöglichkeiten von chip-basierten photonischen Systemen auf Basis von transparenten amorphem Silizium in den Gebieten der Kommunikationstechnik und der Sensorik für den nahen Infrarotbereich erörtert. Mit CMOS-kompatiblen Herstellungsprozessen wurden die dafür nötigen Basiskomponenten wie Faser-Chip-Koppler, photonische Leistungsteiler, Interferometer, und Ringresonatoren realisiert, mit welchen komplexe photonische Systeme aufgebaut werden können. Als Anwendungsbeispiele werden Wellenlängenmultiplexer, welche auf minimaler Fläche eine wellenlängenselektive Datenverteilung ermöglichen, sowie markierungsfreie Biosensoren, mit denen kleinste Änderungen im fg-Bereich messbar sind, vorgestellt.