Vertikal ausgerichtete Kohlenstoffnanoröhren-Teppiche als Basismaterial in Dehnungsmessstreifen

Conference: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10/14/2013 - 10/16/2013 at Aachen, Deutschland

Proceedings: Mikrosystemtechnik 2013

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Riekeberg, S.; Trieu, H. K.; Müller, J. (Technische Universität Hamburg-Harburg, Institut für Mikrosystemtechnik, Hamburg, Deutschland)

Abstract:
In diesem Beitrag werden vertikal ausgerichtete und strukturierte Kohlenstoffnanoröhren (CNT)-Teppiche als Basismaterial in Dehnungsmessstreifen (DMS) vorgestellt. Der Ladungstransport erfolgt dabei entlang des CNTTeppichs. Der CNT-basierte DMS zeigt eine lineare Widerstandsabhängigkeit im Temperaturbereich von 20 °C bis 100 °C. Durch eine Optimierung der CNT-Prozessparameter weisen diese DMS hohe k-Faktoren von bis zu 10 bei gleichzeitig niedrigen Temperaturabhängigkeiten des elektrischen Widerstands auf.