Messanordnung zur Optimierung mechanischer Spannungen an Siliziumsensoren
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 2Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Strutzberg, H. (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH, Konrad-Zuse-Str. 14, 99099 Erfurt,, Deutschland)
Geiler, H. (JenaWave GmbH, 07745 Jena, Deutschland)
Abstract:
SIREX ist ein hochempfindliches Verfahren zur mikroskopischen Analyse mechanischer Spannungen in Halbleitern und Isolatoren, das mit einem scannenden Laserstrahl im Reflexionsmodus arbeitet und die Depolarisation auswertet. Die Analyse basiert auf dem optischen Phänomen der Photoelastizität, das heißt, der spannungsinduzierten Doppelbrechung in optisch isotropen Festkörpern.