PIMMS, ein universell einsetzbares Mikromassenspektrometer

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Quiring, Grigoriy; Reinhardt-Szyba, Maria; Müller, Jörg (Technische Universität Hamburg-Harburg, Institut für Mikrosystemtechnik, Eißendorfer Str. 42, 21073 Hamburg, Deutschland)

Abstract:
Mit einem planar integrierten Mikromassenspektrometer gemessene Methan- und Wasserstoffspektren werden vorgestellt. Die Messungen zeigen, dass das PIMMS im Bereich niedrigen Masse-zu-Ladungs-Verhältnisses bis zu 1 m/z geeignet ist. Die Erweiterung des Messbereiches von minimal 12 m/z auf 1 m/z und die Verdopplung der Ionentransmission ist durch Änderungen an den Strukturen und durch die neuartige elektronische Ansteuerung des PIMMS erreicht. Die gesteigerte Leistungsfähigkeit macht das PIMMS zum universell einsetzbaren Massenspektrometer und erschließt weitere Einsatzbereiche, wie die portable Lecksuche.