Kapazitive Sensormessungen innerhalb eines piezogetriebenen Mikrosystems
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Warkentin, Karsten (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Stuttgart, Deutschland)
Baumann, Ulrich (metec AG, Stuttgart, Deutschland)
Abstract:
Mikrosysteme vereinen heute verschiedenste Aktuatoren, Sensoren und elektronische Komponenten auf kleinstem Raum. Dies stellt alle Komponenten vor immer höhere Anforderungen, besonders im Bereich der Abmessungen und Formenvielfalt. Das hier vorgestellte Mikrosystem besteht aus einer Kombination von 200V-Piezoaktuatoren, kapazitiven Sensoren und Elektronik. Die Elektronik setzt sich aus einem Hochvoltansteuerung-ASIC zur Ansteuerung der Piezoaktuatoren und einem Sensor-SPI-Schnittstelle-ASIC, der Kommunikation und Steuerung übernimmt, zusammen. Dieses Mikrosystem erlaubt die Messung kleinster Kapazitätsunterschiede und konnte durch die Integration in Mikrochips (ASICs) realisiert werden. In diesem Beitrag werden erste Messergebnisse präsentiert.