Mikrofluidisches Multifunktionsbauteil aus sterilisierbarem thermoplastischem Elastomer zur Integration von Siliziumchips in Polymere

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 3Language: germanTyp: PDF

Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title

Authors:
Naegele, Lars; Müller, Claas; Schoth, Andreas; Reinecke, Holger (Universität Freiburg, Institut für Mikrosystemtechnik - IMTEK, Lehrstuhl für Prozesstechnologie, Georges-Köhler-Allee 103, 79110 Freiburg, Deutschland)
Reinecke, Holger (HSG-IMIT - Institut für Mikro- und Informationstechnik, 78052 Villingen-Schwenningen, Deutschland)

Abstract:
Diese Arbeit präsentiert ein neuartiges durch Mikro-Folienhinterspritzen hergestelltes Multifunktionsbauteil für die fluidische Kontaktierung und die mechanische Integration eines Siliziumchips. Die fluidische Ankopplung zur Makrowelt erfolgt durch eine versteifte Dichtung mit integrierten Fluidzuführungen. Am Ende dieser Fluidzuführungen sind mit handelsüblichen Kanülen (B. Braun Sterican(R) Z 0,3 x 12 mm) durchstechbare Septen platziert. Die Septen stellen dabei eine biologische Barriere während der Lager- und der Transportzeit dar. Nach Durchstechen der Septen konnte eine zuverlässige Dichtwirkung für Flussraten von bis zu 100 myl/min nachgewiesen werden.