Schneller und kostengünstiger Herstellprozess eines Messing-Abformwerkzeugs für das Mikroheißprägen

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Kögler, Daniela; Kaese, Wolfgang; Strobelt, Tilo (Institut für Angewandte Forschung, Hochschule Esslingen Standort Göppingen, Robert-Bosch-Str. 1, 73037 Göppingen, Deutschland)

Abstract:
In dieser Arbeit wird eine schnelle und kostengünstige Methode zur Herstellung eines Abformwerkzeugs aus Messing für das Heißprägen beschrieben. Als Grundlage wird ein Messingwafer verwendet, der mit Hilfe von SU-8 strukturiert wird. Durch galvanische Abscheidung von Nickel auf dem Messingwafer erfolgt der Aufbau der Prägestruktur. Der Vorteil bei der Verwendung von metallischen Formwerkzeugen ist die bessere Standzeit, da sie im Vergleich zu Silizium-Wafern weniger bruchanfällig sind. Der Prozessablauf für die Herstellung des Abformwerkzeugs und der Heißprägeprozess werden detailliert vorgestellt.