Fertigung & Charakterisierung hartmagnetischer Dünnfilmschichten

Abstract:
Die Verfügbarkeit geeigneter Verfahren für die Abscheidung, Strukturierung und Charakterisierung hartmagnetischer dünner Schichten ist von fundamentaler Bedeutung für die Realisierung magnetischer Mikrosysteme, speziell im Anwendungsbereich Aktorik. Die Erzeugung statischer Magnetfelder wird durch die Integration hartmagnetischer Strukturen in die Aktorsysteme erzielt, so dass ein sogenannter Hybridaktor entsteht. Der wesentliche Vorteil von Hartmagneten gegenüber Elektromagneten ist, dass Hartmagnete keine ständige Energieversorgung benötigen. Hartmagnetische Werkstoffe zeichnen sich gegenüber weichmagnetischen durch eine hohe Koerzitivfeldstärke Hc und eine hohe Remanenzflussdichte Br aus. Eine weitere wichtige Kenngröße ist das Energieprodukt BHmax, das die maximal in der magnetisierten Probe speicherbare Energie angibt und bei hartmagnetischen Werkstoffen deutlich höher als bei weichmagnetischen Werkstoffen ist. Untersuchungen zur Fertigung von hartmagnetischen Dünnfilmen sowie zur Charakterisierung und Anwendungsbeispiele in Mikrosystemen werden vorgestellt.