Silizium Nanodraht-Transistoren für biomedizinische Anwendungen
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Vu, Xuan-Thang; Koppenhöfer, Dieter; Ingebrandt, Sven (Fachhochschule Kaiserslautern, Fachbereich Informatik und Mikrosystemtechnik, Amerikastraße 1, 66482 Zweibrücken, Deutschland)
Abstract:
Wir präsentieren eine Kombination aus Nanoimprint-Lithographie und anisotropen, nasschemischen Ätzen von Silizium, um hochintegrierte Arrays von Silizium-Nanodraht (SiND) Transistoren auf 4-Zoll Wafern herzustellen. Mit Hilfe dieses top-down Prozesses wurden planare Nanodrähte aus Silizium-on-Insulator Wafern strukturiert. Es konnten Nanodrähte mit sehr glatten Oberflächen und trapezförmigen Querschnitten hergestellt werden. Die verschiedenen Chips wurden hinsichtlich ihres elektronischen Verhaltens charakterisiert. Weiterhin wurden sie eingesetzt, um extrazelluläre Signale lebender Zellen in Kultur zu messen und um Biomoleküle aufgrund ihrer spezifischen Oberflächenbindung zu detektieren.