Energieeffiziente, miniaturisierte magnetoresistive Sensoren auf TMR-Basis für Anwendungen im Automobil
Conference: Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
03/03/2011 - 03/04/2011 at Stuttgart, Deutschland
Proceedings: Mikro-Nano-Integration
Pages: 6Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Paul, Johannes; Gerken, Anna; Slatter, Rolf (Sensitec GmbH, Mainz, Deutschland)
Duret, Christophe (NTN-SNR Bearings, Annecy, Frankreich)
Negulescu, Beatrice; Hehn, Michel (Institut Jean Lamour, Université Nancy, Frankreich)
Abstract:
TMR-Sensoren bieten aufgrund ihrer hohen Sensitivität und der geringen Größe große Vorteile für verschiedenste Anwendungen, beispielsweise zur Positions- und Geschwindigkeitsmessung. Daher arbeitet die Sensitec GmbH daran, TMR-Schichtsysteme für Sensoranwendungen zu optimieren. Es wird ein Sensor entwickelt, der auf der klassischen Al2O3-Bariere aufbaut. Dieser Sensor zeigt einen maximalen TMR-Effekt von 42 % zeichnet sich aber besonders durch seine Kennlinie, die im linearen Bereich +/- 100 Oe ca. 10 % Amplitude und eine geringe Hysterese aufweist, aus sowie durch die minimale Leistungsaufnahme in der Größenordnung von 10 myW, welche neue Anwendungen, z. B. bei autarken Funksensoren ermöglicht.