Entwicklung eines Hochtemperaturmessaufbaus zur Bestimmung der akustischen Parameter von Hochfrequenz-OFW-Bauteilen
Conference: Sensoren und Messsysteme 2010 - 15. ITG/GMA-Fachtagung
05/18/2010 - 05/19/2010 at Nürnberg
Proceedings: Sensoren und Messsysteme 2010
Pages: 6Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Eisele, David; Wegert, Henry; Shrena, Ismail; Reindl, Leonhard (Universität Freiburg - IMTEK, Freiburg, Deutschland)
Bardong, Jochen (Carinthian Tech Research AG, Villach, Österreich)
Abstract:
Zur Untersuchung von Oberflächenwellen-Bauteilen (OFW) in Hochtemperaturumgebungen wird ein entsprechend temperaturstabiler Messaufbau benötigt, dessen Entwicklung und Test im Folgenden beschrieben werden. Hiermit sind genaue 2-Port Messungen bis 1,5 GHz und 700 °C möglich, wobei auch Messungen bis zu 1000 °C mit der Messhalterung möglich wären. Mit Einschränkungen der Signalgüte kann auch der Frequenzbereich auf bis zu 3 GHz erweitert werden. Damit ist eine elektroakustische Charakterisierung von HF-OFW-Bauteilen über einen definierten Temperaturverlauf realisierbar.