Statistische Behandlung von Modellierung und inversem Problem in der Scatterometrie

Conference: Sensoren und Messsysteme 2010 - 15. ITG/GMA-Fachtagung
05/18/2010 - 05/19/2010 at Nürnberg

Proceedings: Sensoren und Messsysteme 2010

Pages: 2Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Henn, Mark-Alexander; Groß, Hermann; Bär, Markus (Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Abbestraße 2-12, 10587 Berlin, Deutschland)

Abstract:
Der bisherige Ansatz der Behandlung des inversen Problems der Scatterometrie ist strikt deterministisch. D. h., es wird genau die Profilgeometrie gesucht, die das gemessene Scatterogramm am besten erzeugt. In dem vorliegenden Artikel werden die Probleme aufgezeigt, die sich bei einer solchen Herangehensweise ergeben, insbesondere im Hinblick auf die Abschätzung der Messunsicherheit der rekonstruierten Profilparameter. Ein alternativer, auf dem Bayes’schen Begriff der bedingten Wahrscheinlichkeit beruhender Ansatz wird diskutiert.