Polymer-Keramik-Komposite mit hoher Dielektrizitätskonstante für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik
Conference: Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
05/10/2010 - 05/11/2010 at Darmstadt, Germany
Proceedings: Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik
Pages: 6Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Hanemann, Thomas; Schumacher, Benedikt (Karlsruher Institut für Technology (KIT), Institut für Materialforschung III, 76344 Eggenstein-Leopoldshafen, Deutschland)
Schumacher, Benedikt (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Institut für Mikrosystemtechnik (IMTEK), Georges-Köhler-Allee 102, 79110 Freiburg, Deutschland)
Abstract:
Polymerbasierte Komposite, bestehend aus einem Reaktionsharz und verschiedenen nanoskaligen Keramiken mit hoher intrinsischer Permittivität, sollen auf ihre Anwendbarkeit als Kondensatormaterial für eingebettete Kondensatoren in Leiterplatten entwickelt und charakterisiert werden. Geeignete kommerzielle nanoskalige Keramiken wie BaTiO3, SrTiO3, u.a. weisen überraschend niedrige Permittivitätswerte auf. Im Fall von BaTiO3 lässt sich dies auf eine Verspannung des Kristallgitters zurückführen. Die thermische Auslagerung bei 1000Grad C führt zur Ausbildung der thermodynamisch stabilen tetragonalen Phase. Komposite mit guten Permittivitätswerten lassen sich somit realisieren.