Nanoaktoren auf Basis metallischer Schichtsysteme
Conference: Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
03/03/2010 - 03/04/2010 at Erfurt, Germany
Proceedings: Mikro-Nano-Integration
Pages: 5Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Hartbaum, Julian; Jakobs, Peter; Kohl, Manfred (KIT, Institut für Mikrostrukturtechnik, Karlsruhe, Deutschland)
Abstract:
In diesem Beitrag werden Arbeiten zur Entwicklung mechanisch aktiver NiFe/Ti-Nanostrukturen vorgestellt, die freibeweglich über dem Substrat integriert und über ein Magnetfeld ansteuerbar sind. Wir stellen einen neuen Prozess vor, der es erlaubt die Größendimensionen und damit die mechanischen Eigenschaften der Aktoren über einen weiten Bereich hinweg festzulegen. Es ist uns gelungen, bewegliche Aktorstrukturen mit kritischen Dimensionen unter 100 nm herzustellen. Derartige Nanoaktoren sind als Schlüsselelemente für zukünftige aktive Nanosysteme anzusehen, da sie deren Funktionalität erheblich erweitern.