Nanopositionier- und Nanomessmaschinen - universelle skalenübergreifende Werkzeuge für die Mikro-Nano-Integration
Conference: Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
03/03/2010 - 03/04/2010 at Erfurt, Germany
Proceedings: Mikro-Nano-Integration
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Manske, Eberhard; Theska, René (Technische Universität Ilmenau, PF 100565, 98684 Ilmenau, Deutschland)
Schott, Walter (SIOS Messtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Deutschland)
Abstract:
Die Beherrschung der Nanopositionier- und Nanomesstechnik in makroskopischen Arbeitsräumen ist eine essenzielle Voraussetzung für die skalen- und domänübergreifende Technologieverschmelzung. Ein universelles leistungsfähiges Werkzeug für die Mikro-Nano-Integration stellt deshalb die Nanopositionier- und Nanomessmaschine mit einem Arbeitsvolumen von 25 mm x 25 mm x 5 mm und einer Auflösung von 0,1 nm dar. Verschiedene optische und mechanische Antastsysteme mit Nanometerpräzision stehen zur Verfügung. Es werden weitere Sensoren und Tools entwickelt. Mit dieser Technologie ist man in der Lage, die Brücke von der Makrowelt zu den Mikrosystemen und den Nanotechnologie in einem Schritt zu schlagen.