Automatisierte nanorobotische Mikro-Nano-Integration zur Herstellung prototypischer Mikrosysteme mit Nanostrukturen

Abstract:
Die Integration von Nanomaterialien in Mikrosysteme kann in vielen Fällen zu einer Verbesserung deren Eigenschaften und zudem zu einer Weiter- und Neuentwicklung innovativer Systeme führen. Eines der Schlüsselprobleme ist es, geeignete Verfahren zur Mikro-Nano-Integration zu entwickeln. Roboter-basierte Systeme, die in die Vakuumkammer von Rasterelektronenmikroskopen integriert werden können, bilden einen der vielversprechendsten Ansätze für die Handhabung einzelner Nanostrukturen. Die Automatisierung solcher nanorobotischer Handhabungssequenzen kann zudem die reproduzierbare Herstellung prototypischer Mikrosysteme mit Nanostrukturen ermöglichen und somit einen wichtigen Beitrag zur Mikro-Nano-Integration und deren Anwendung leisten. In dem vorliegenden Beitrag werden nanorobotische Methoden zur Mikrogreifer-basierten Handhabung von Kohlenstoffnanoröhren mit besonderem Fokus auf Automatisierung präsentiert. Anhand einer vollständig automatisierten Handhabungssequenz wird die prototypische Mikro-Nano-Integration von Nanoröhren-basierten Kraftmikroskop-Messspitzen demonstriert.