Nanoporöse Goldkontakte für das Niedertemperaturbonden
Conference: Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
03/03/2010 - 03/04/2010 at Erfurt, Germany
Proceedings: Mikro-Nano-Integration
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title
Authors:
Oppermann, Hermann; Dietrich, Lothar; Klein, Matthias (Fraunhofer IZM Berlin, Germany)
Abstract:
Es wurde eine Au-Ag-Legierung erfolgreich aus einem Elektrolyten abgeschieden und der offenporige Gold Nanoschwamm durch Ätzen hergestellt. Es gelang die Übertragung auf Siliziumwafer und die Strukturierung von Bumps. Erste Bondversuche zeigen, dass bei niedrigen Temperaturen und Drücken eine gute Verschweißung erreicht wird.