Großflächiges Mikrospiegelsystem zur Tageslichtlenkung
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Jäkel, Andreas; Li, Qingdang; Viereck, Volker; Hillmer, Hartmut (Universität Kassel, Institut für Nanostrukturtechnologie und Analytik, Fachgebiet Technische Elektronik und Center for Interdisciplinary Nanostructure Science and Technologie (CINSaT), Heinrich-Plett-Straße 40, 34132 Kassel, Deutschland)
Abstract:
Das von uns vorgestellte Mikrospiegel Array dient der großflächigen Anwendung im Zwischenraum doppel- oder dreifachverglaster Isolierglasfenster. Das durch das Fenster fallende Licht wird mit elektrostatisch aktuierbaren Mikrospiegeln gezielt gelenkt. Zur Herstellung werden Depositions- und Strukturierungsverfahren verwendet, die bereits zur Displayherstellung großflächig eingesetzt werden. Neueste Ergebnisse zu Herstellung und Aktuation werden vorgestellt.