Entwicklung eines Mikrodispergierelements für pharmazeutische Screening-Anwendungen: Material und Fertigung

Abstract:
Für die Herstellung eines neuartigen Mikrodispergierelements als Screening-Instrument wird die Eignung sowohl von Silizium als auch von Edelstahl als Substrat untersucht. Zur Strukturierung des Siliziums wurde auf Grundlage bereits am Institut für Mikrotechnik (IMT) der TU Braunschweig etablierter Technologien ein beidseitiger Trockenätzprozess entwickelt. Die Edelstahlsubstrate (X5 CrNi 18-10) werden mittels Mikrofunkenerosion strukturiert. Die so erzeugten Strukturen und ihre Fertigungsprozesse werden hinsichtlich der erzeugbaren Oberflächengüte, Abbildungsgenauigkeit und ihrer Eignung für den Dispergierprozess analysiert und miteinander verglichen. Die aus Silizium hergestellten Systeme zeichnen sich durch etablierte Prozesstechnologien und sehr gute geometrische Eigenschaften aus, weisen in ersten Dispergierversuchen jedoch eine zu geringe Druckstabilität auf. Die Mikrostrukturierung von Edelstahl zeigt vielversprechende Fertigungsergebnisse, es bedarf allerdings noch weiterer Optimierung.