Hierarchisches mikrofluidisches System

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 3Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Morschhauser, A.; Hammerschmidt, J.; Nestler, J.; Jahn, S.; Baumann, R.; Gessner, T. (Technische Universität Chemnitz, Reichenhainer Str. 70, 09126 Chemnitz,)
Wachner, D.; Goedel, W. (Technische Universität Chemnitz, Straße der Nationen 62, 09126 Chemnitz)

Abstract:
Nanosystemintegration beschreibt die Überführung von Nanoeffekten und -strukturen in Gesamtsysteme und damit den Übergang von Grundlagenforschung hin zu anwendungsnahen Szenarien. Auf Grund der Komplexität dieser Systeme ist die Fertigung in lediglich einer Technologie zwar erstrebenswert jedoch meist nicht möglich. Vielmehr werden Integrationskonzepte benötigt, um die Vorteile verschiedenster Technologien zu kombinieren. Dieser Artikel soll erste Ergebnisse aus dem durch das BMBF geförderten ForMaT-Projekt mikrohips vorstellen, welches sich u. a. mit der Integration von nanoskaligen Strukturen in mikrofluidische Systeme befasst.