Magnetische Mikrosysteme für Wandleranwendungen
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Gatzen, Hans-Heinrich; Ruffert, Christine; Wurz, Marc Christopher; Flick, Eva (Institut für Mikrotechnologie, Produktionstechnisches Zentrum, Leibniz Universität Hannover, An der Universität 2, 30823 Garbsen)
Abstract:
Magnetische Mikrosysteme ermöglichen, eine Vielzahl von Wandlerfunktionen abzudecken. Dieser Beitrag gibt einen Überblick über am Institut für Mikrotechnologie der Leibniz Universität Hannover entwickelte magnetische Mikrowandler. Beispiele für magnetische Mikrosensorik sind Mikrodehnmesssensoren, Längenmess- und Abstandssensoren sowie ein Hysterese-Messsensor. Mikroaktorische Anwendungen sind ein optischer Mikroschalter, ein linearer Mikro-Synchronmotor und ein in einem Schreib-/Lesekopf für Festplattenspeicher integrierter Mikroaktor. Die Datentechnik vertritt ferner ein magneto-optischer Schreib-/Lesekopf.