Dünnschichtsensorik zur Prozessüberwachung in Stanzprozessen

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Biehl, Saskia; Staufenbiel, Sebastian; Weber, Martin; Woitschach, Ole (Fraunhofer Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, Bienroder Weg 54E, 38108 Braunschweig)
Kräusel, Verena (Fraunhofer Institut für Werkzeugmaschinen und Umformtechnik, Reichenhainer Strasse 88, 09126 Chemnitz)
Mintenbeck, Dieter; Merz, Jürgen (HSG-IMIT Institut für Mikro- und Informationstechnik, Wilhelm-Schickard-Strasse 10, 78052 Villingen-Schwenningen)

Abstract:
Blechteile mit fehlerhafter Schnittfläche oder Werkzeugbrüche mindern die Wirtschaftlichkeit von Schneidprozessen. Daher wird die Forderung nach einer Online-Überwachung immer stärker. Als messbare Größe eignet sich die Schneidkraft, da sich beispielsweise eine Schneidspaltverengung durch zunehmenden Werkzeugverschleiß unmittelbar auf den Schneidkraftverlauf auswirkt. Zur Detektion der Schneidkraft werden piezoresistive Dünnschichtsensoren auf Basis von amorphem Kohlenwasserstoff entwickelt. Diese besitzen hervorragende tribologische wie auch sensorische Eigenschaften. Der größte Vorteil dieser Sensorik besteht darin, dass das gesamte Schichtsystem nur eine Dicke von 9 µm aufweist und daher einen sehr geringen Bauraum benötigt. Die Sensoren können direkt in den Kraftfluss des Werkzeugs eingesetzt werden.