Optische Wellenleiter aus amorphem Silizium
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Lipka, Timo; Harke, Alexander; Horn, Oliver; Amthor, Julia; Müller, Jörg (Technische Universität Hamburg-Harburg, Eißendorferstr. 42, 21073 Hamburg, Deutschland)
Abstract:
In diesem Paper werden verschieden dimensionierte verlustarme amorphe Siliziumwellenleiter, deren Herstellung und materialspezifische Eigenschaften des Materials vorgestellt. Des Weiteren werden 3D-Taper für eine verbesserte Lichteinkopplung in sub-µm Wellenleiter präsentiert.