Bistabiles Schalten mit einem thermoelektrisch getriebenen thermopneumatischen Aktuator
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Huesgen, Till; Ruhhammer, Johannes; Woias, Peter (Universität Freiburg – IMTEK, Lehrstuhl für Konstruktion von Mikrosystemen, Freiburg, Deutschland)
Abstract:
Dieses Paper stellt einen neuartigen bistabilen thermopneumatischen Aktuator mit integriertem Peltierkühler vor. Das Konzept hat einige Vorteile gegenüber herkömmlichen thermopneumatischen Aktuatoren: Durch aktives Kühlen werden kürzere Ansprechzeiten realisiert. Ausserdem ist eine Membranauslenkung in positiver wie negativer Richtung möglich, was bistabiles Schalten erlaubt. Basierend auf einem Polymer-Waferbondprozess werden die mikro-miniaturisierten Peltierkühler integriert. Ein Demonstrator wurde hergestellt und getestet. Der Membranhub beträgt 41 µm und eine Schaltfrequenz von 3.8 Hz wurde erreicht.