Materialien für Polymere MEMS – Dielektrische Elastomeraktoren
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Böse, Holger; Rawinski, Viktoria; Uhl, Detlev; Reichert, Yanina (Fraunhofer-Institut für Silicatforschung, Würzburg, Germany)
Abstract:
Dielektrische Elastomeraktoren (DEA) zeichnen sich durch sehr hohe elektrisch gesteuerte Dehnungen, eine geringe Dichte und eine hohe Variabilität in der Bauform aus. Sie bestehen aus einer stark dehnbaren Elastomerfolie und flexiblen Elektroden als dünne Beschichtung auf beiden Seiten der Folie. Da bislang nur relativ wenige und nicht eigens zu diesem Zweck entwickelte Materialkomponenten für den Aufbau von DEA eingesetzt werden, gibt es einen hohen Bedarf nach leistungsfähigeren und besser angepassten Materialien. In dem Beitrag werden wesentliche Eigenschaften von Materialkomponenten für den Aufbau von DEA und die Variation dieser Eigenschaften dargestellt. Außerdem werden beispielhaft ausgewählte Bauformen von DEA gezeigt, mit denen sich ausgeprägte Linearbewegungen erzeugen lassen.