Polarisationsempfindliche Photodioden und Bildsensoren mit integrierten Nanostrukturen in Standard-CMOS

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title

Authors:
Junger, Stephan; Tschekalinskij, Wladimir; Verwaal, Nanko; Spinnler, Klaus; Weber, Norbert (Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS, Am Wolfsmantel 33, 91058 Erlangen, Deutschland)

Abstract:
In diesem Beitrag werden Entwurf, Simulation, Herstellung und Charakterisierung von Photodioden mit integrierten Subwellenlängengittern beschrieben. Diese polarisationsfilternden Nanostrukturen wurden im Rahmen eines unmodifizierten Standard-CMOS-Prozesses hergestellt, was die Fertigung von Polarisationssensoren sowie von polarisationsempfindlichen Bildsensoren in großen Stückzahlen ermöglicht.