Silizium-Keramik-Verbundsubstrat – eine neue Plattform für die Mikro-Nano-Integration
Conference: Mikro-Nano-Integration - 1. GMM-Workshops
03/12/2009 - 03/13/2009 at Seeheim, Germany
Proceedings: Mikro-Nano-Integration
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Fischer, M.; Torres, H. Bartsch de; Hoffmann, M.; Müller, J. (Institut für Mikro- und Nanotechnologien, Technische Universität Ilmenau, Deutschland)
Pawlowski, B.; Barth, S. (Hermsdorfer Institut für Technische Keramik e.V.)
Abstract:
Es wird ein Silizium-Keramik-Verbundsubstrat (SiCer) vorgestellt, welches auf einem neuartigen Bondverfahren zwischen nanoskaligem, modifiziertem „Black Silicon“ und einer an Silizium adaptierten Niedertemperaturkeramik (LTCC) basiert. Das neuartige Verbundsubstrat erlaubt die vorteilhafte Kombination der Silizium-MEMS-Technologie mit der LTCC-Technologie und stellt dadurch die Grundlage für ein neues Konzept der Mikro-Nano-Integration dar. Eine selbstorganisiert strukturierte, nanoskalige Waferoberfläche wird dabei mit Hilfe eines Laminierprozesses mit einem ungesinterten, durch LTCC-Technologien vorprozessierten Keramikgrünkörper in Verbindung gebracht. Ein anschließender Drucksinterprozess erzeugt einen äußerst belastbaren Silizium-Keramik-Verbund.