Integration von passiven und aktiven Bauelementen mittels innovativer Drucktechniken
Conference: Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
03/03/2011 - 03/04/2011 at Stuttgart, Deutschland
Proceedings: Mikro-Nano-Integration
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Schön, F.; Keck, J.; Willeck, H.; Eberhardt, W. (Hahn-Schickard-Institut für Mikroaufbautechnik HSG-IMAT, Stuttgart, Deutschland)
Polzinger, B.; Kück, H. (Universität Stuttgart, Institut für Zeitmesstechnik, Fein- und Mikrotechnik IZFM, Stuttgart, Deutschland)
Strecker, M.; Frühauf, N. (Universität Stuttgart, Lehrstuhl für Bildschirmtechnik LFB, Stuttgart, Deutschland)
Abstract:
Drucktechniken bieten vielfältige Möglichkeiten zum additiven Aufbau und zur Integration von funktionalen Strukturen in Mikro- und Nanosystemen. Passive und aktive Bauelemente lassen sich auf unterschiedlichen Substraten mittels des neuartigen Aerosols Jet(R) Verfahrens aufbauen. In diesem Beitrags wird beispielhaft auf mittels Aerosol Jet(R) Technologie hergestellte Widerstände, Temperatursensoren, Kondensatoren und Dünnfilmtransistoren eingegangen.